性能指标

1. 隔振频率：1---200Hz

2. 隔振方向：六个自由度力的补偿，负荷调节功能。

3. 隔振性能：90%(5Hz时),95%(10Hz时)

4. 负载能力：15-300Kg

5. 10-20 毫秒的响应时间

6. 供电:220V,50W

7. 工作温度:5-40摄氏度

8. 隔振台放置于平面度0.5mm的硬质平面上

9. 台面尺寸可以定制(600*500-800*1000)

10.模块可以多条组合成更大的尺寸

特征

主动隔离宽频

六个自由度全方向隔振

内部反馈回路

可以根据负载和尺寸要求自由组合

易于安装和简单的使用,无需持续维护

无共振频率,响应时间快

应用领域

扫描探针显微镜（AFM/LFM/STM）

激光干涉仪

激光共聚焦显微镜

主动隔振控制系统型号说明

VCM:型号----振动控制模块

模块数量区分:S代表单条模块  D代表双条模块  T代表三条模块

例如:

VCM-S400:代表单条长度400mm主动隔振控制系统

VCM-D400:代表双条长度400mm主动隔振控制系统

VCM-D600:代表双条长度600mm主动隔振控制系统

单条标准模块承载为150KG;400与600载重相同.

应用场景